[发明专利]微型皮拉尼真空传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110414214.3 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113324697A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;黄维康;孔延梅;赖俊桦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微型皮拉尼真空传感器及其制作方法，该微型皮拉尼真空传感器包括衬底，所述衬底上形成有凹槽；结构层，所述结构层覆盖凹槽的开口且与凹槽合围形成空腔；所述凹槽的至少一个侧壁上开设有连通空腔的入口；加热部件，设置在结构层上且与衬底相对的一侧；所述加热部件为采用连续的加热丝体螺旋围绕形成的螺旋状结构，并且加热丝体的宽度从加热部件的中心向外围呈线性逐渐减小。通过将加热部件设计为变参数的螺旋状结构，补偿不同加热区域的加热功率，优化加热部件热均匀性，提高气体分子从加热部件到热沉热运动方向的一致性，从而增加散热效率，获得具有高测量灵敏度和可检测较小真空度的皮拉尼真空传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 皮拉尼 真空 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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