[发明专利]一种铝吸杂方法和铝吸杂设备

摘要

本发明实施例中提供了一种铝吸杂方法和铝吸杂设备，所述方法包括利用丝网印刷在所述硅片的至少一个表面上形成铝浆；以及对形成有所述铝浆的所述硅片进行链式退火，其中所述链式退火包括升温阶段、恒温阶段和降温阶段，其中所述升温阶段将所述硅片的温度升高至铝硅共晶温度以上，所述恒温阶段的温度高于所述铝硅共晶温度，并且所述降温阶段将所述硅片的温度降低到所述铝硅共晶温度以下。本发明的处理方案使用丝网印刷叠加链式退火炉技术进行铝吸杂。丝网印刷技术成熟稳定，可以使用成本低廉的铝浆，大幅降低了铝浆的生产成本。链式退火炉可以快速实现铝浆的烘干和掺杂，并能快速实现退火，工艺时间更加短，吸杂效果明显，便于进行规模化量产。