[发明专利]一种极紫外和软X射线源的簇束产生方法与设备在审
| 申请号： | 202110415781.0 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113179573A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曹路;宋凤麒;刘翊;张同庆 | 申请（专利权）人： | 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种产生极端紫外线和软X射线辐射的方法，包括以下步骤：使气体混合物流到可加压阀中，该气体混合物包括团簇形成气体，稀释气体和三元气体，定义腔室的外壳与所述腔室连通的输入通道，所述气体流过所述输入通道进入所述腔室，与所述腔室连通的输出通道，以及一种温度可控喷嘴，所述喷嘴具有气体入口端，所述气体入口端固定地附接到所述输出通道，以及相对的气体出口端，所述喷嘴具有设置在其内的孔，所述阀包含在真空室内；对包含在所述阀中的所述气体混合物加压；降低所述真空室中的压力；将所述温度控制喷嘴的温度调节至适合于从所选择的团簇形成气体形成分子团簇的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 射线 产生 方法 设备 | ||
【主权项】：
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