[发明专利]一种高频VCSEL及其制造方法在审
| 申请号： | 202110416678.8 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113224641A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 方照诒;潘德烈 | 申请（专利权）人： | 深圳市德明利光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/042 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 何兵;吕诗 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高频VCSEL及其制造方法，通过设置锌扩散形成的扩散层，先行于衬底进行p型载子的预扩散，增加了p型载子(p‑GaAs载子、电洞、Hole)注入谐振腔的有效通道面积，并可以充当光学限制的功能，可减少p型杂质的掺杂，平衡p型载子与n型载子移动率不对称的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 vcsel 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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