[发明专利]一种帽盖型P型电极VCSEL结构及其工艺方法在审
申请号: | 202110416712.1 | 申请日: | 2021-04-19 |
公开(公告)号: | CN113224639A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 方照诒;潘德烈 | 申请(专利权)人: | 深圳市德明利光电有限公司 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187 |
代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵;吕诗 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种帽盖型P型电极VCSEL结构及其工艺方法,p型电极向一次刻蚀台面的侧面延伸,极大化的增加电洞的导入路径,增加了p型电极的接触面积,降低了接触电阻,提高了频响,并降低了热效应。 | ||
搜索关键词: | 一种 帽盖型 电极 vcsel 结构 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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