[发明专利]一种碳化硅蒸汽制备装置在审
| 申请号： | 202110416794.X | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113005513A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;蔡斯元;蔡期开;洪天河;钟其龙;刘崇志 | 申请（专利权）人： | 芯璨半导体科技（山东）有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈雪莹 |
| 地址： | 250000 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳化硅蒸汽制备装置，包括进料机构、分离机构和气相输运机构；进料机构设置在分离机构的上端，气相输运机构设置在分离机构的侧部。进料机构包括料槽、台柱、盖板和激光模块；料槽和台柱配合形成进料通道。本发明通过进料通道进行投料，通过脉冲激光束对投料照射，使得源料快速升华出气相物质，形成碳化硅蒸汽，之后通过载气输送并沿石墨通道输送至晶锭生长装置。本发明通过载气对气相物质进行输运，而暂未升华的源料掉落回收槽，进而实现固气分离，因为加热升华的加热点固定，而源料连续替换，源料不会发生石墨陶瓷化的现象。而未被完全利用的源料经过简单的除碳处理即可重新利用，源料的综合利用率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 蒸汽 制备 装置 | ||
【主权项】：
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