[发明专利]一种智能蒸发镀膜机有效
| 申请号： | 202110417532.5 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113088918B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 李成林;郝明;杜雪峰 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种智能蒸发镀膜机,主要包括镀膜腔室、卷绕系统、条形蒸发源、智能屏蔽系统、控制系统和真空系统；智能屏蔽系统位于条形蒸发源与蒸发镀膜基底之间，可对坩埚上方不同区域进行蒸发屏蔽；条形蒸发源位于镀膜辊的下方，主要包括坩埚、智能材料控制系统和滑动式电极系统；智能材料控制系统可在线调整材料容腔内的蒸发材料分布的位置和状态；滑动式电极系统主要包括滑动式电极块，滑动式电极块有2个以上，通过控制滑动式电极块的滑动在线调整坩埚材料容腔的加热区域；控制系统控制智能屏蔽系统以及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统之间的互相配合，可在线连续地调控蒸发镀膜基底下方的蒸发镀膜区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
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