[发明专利]一种PVT法使用的氮化铝粉末的预处理方法有效
| 申请号： | 202110417964.6 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113120872B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/072 | 分类号： | C01B21/072;C30B35/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种PVT法使用的氮化铝粉末的预处理方法，它属于氮化铝材料表面处理方法。本发明要解决的技术问题为氮化铝粉末的杂质处理。本发明称取氮化铝粉末、表面处理剂，搅拌一定时间，得到混合物中加入稳定有机溶剂，搅拌一定时间，然后静置沉淀，分离得到的下层混合物静置沉淀，分离得到的下层固形物中加入高极性有机溶剂，搅拌清洗，重复清洗2‑5次后，分离得到清洗后的固形物，中加入稳定有机溶剂，搅拌均匀后，置于旋转蒸发仪内蒸发溶剂至无可见溶剂，得到预处理后的氮化铝粉末。本发明方法针对的是氮化铝表面的氧化物薄膜导致的氧杂质的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvt 使用 氮化 粉末 预处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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