[发明专利]一种实现正负性转换的NSb2有效

专利信息
申请号: 202110418028.7 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN113249696B 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 魏涛;沈万成;刘波;陈星;陈兴旺;程淼;胡敬;刘倩倩;李宛飞;凌云 申请(专利权)人: 苏州科技大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/58;G03F7/00;G03F7/20
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 冯瑞
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种实现正负性转换的NSb2Te光刻胶制备及其光刻方法,光刻胶制备方法以Sb2Te为靶材、以Ar为起辉气体、N2为掺杂气体,在基片上沉积得到NSb2Te光刻胶,控制Ar和N2的流量比,使NSb2Te光刻胶为正胶或负胶;光刻方法包括:S1:在基片上沉积一层NSb2Te光刻胶,控制NSb2Te光刻胶中氮元素的掺杂量,使NSb2Te光刻胶为正胶或者负胶;S2:利用激光直写光刻系统对所述NSb2Te光刻胶进行曝光;S3:利用反应离子刻蚀系统或酸/碱性显影剂对曝光后的所述NSb2Te光刻胶进行干法或湿法显影,得到具有微纳结构的光刻样品。本发明提供一种工艺简单、成本低廉、环境友好且能在同一显影剂中实现正负胶转换的光刻胶制备方法和光刻方法。
搜索关键词: 一种 实现 正负 转换 nsb base sub
【主权项】:
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