[发明专利]一种实现正负性转换的NSb2 有效
申请号: | 202110418028.7 | 申请日: | 2021-04-19 |
公开(公告)号: | CN113249696B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 魏涛;沈万成;刘波;陈星;陈兴旺;程淼;胡敬;刘倩倩;李宛飞;凌云 | 申请(专利权)人: | 苏州科技大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/58;G03F7/00;G03F7/20 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 冯瑞 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明涉及一种实现正负性转换的NSb2Te光刻胶制备及其光刻方法,光刻胶制备方法以Sb |
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搜索关键词: | 一种 实现 正负 转换 nsb base sub | ||
【主权项】:
暂无信息
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