[发明专利]一种用于微小孔径的气动测量装置与方法

摘要

本发明为一种用于微小孔径的气动测量装置与方法，将标准工件的微小孔径转换为等效测量间隙，根据不同工况下的测量压力与等效测量间隙的关系式绘制Px‑S计算曲线；测量标准工件的各微小孔，得到不同孔径下的测量压力，通过实验得到Px‑S实验曲线；比较计算曲线和实验曲线，若两条曲线趋势接近，则获取Px‑S实验曲线中的线性段，并计算Px‑S变换倍率，得到线性段的直线表达方程；测量被测工件的微小孔，得到该孔径下的测量压力，根据线性段直线方程计算等效间隙，带入计算被测工件的微小孔的直径。本发明能够得到微小孔全部截面的平均直径，具有精度高、响应快、使用寿命长的优点，还可通过改变节流孔的大小来调整测量范围。