[发明专利]陶瓷件清洗方法在审
| 申请号： | 202110419469.9 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN112934832A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张帅辉;符雅丽;郑友山;王宏伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B24B27/033 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件清洗方法，包括：化学清洗步骤，将陶瓷件浸泡在碱性溶液或酸性溶液中，并进行超声波清洗；中和步骤，将陶瓷件浸泡在酸性溶液或碱性溶液中；物理研磨步骤，对陶瓷件中的孔进行物理研磨；孔冲洗步骤，向孔内喷淋指定压力的水柱，以对孔内进行冲洗；超声波清洗步骤，将陶瓷件浸泡在去离子水中，并进行超声波清洗；吹扫和烘干步骤，对陶瓷件进行吹扫，并在吹扫后对陶瓷件进行烘烤。本发明实施例提供的陶瓷件清洗方法，可以有效去除陶瓷件的孔内颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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