[发明专利]一种CZ单晶炉静态热场测量装置及静态热场的测量方法在审
| 申请号： | 202110420407.X | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN112941621A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陆海凤;柯尊斌;房现阁;王卿伟;陈仕天 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CZ单晶炉静态热场测量装置及静态热场的测量方法，一种CZ单晶炉静态热场测量装置，包括炉桶，炉桶顶部设有炉盖，炉桶内设有坩埚，炉盖内侧设有可升降的籽晶杆，还包括石墨测量条和测温仪；石墨测量条为长条状，石墨测量条活动挂在籽晶杆上，石墨测量条的长度方向与炉桶的轴向垂直；石墨测量条上表面设有沿长度方向、且等间距设置的缺口标记；炉盖上设有观察孔，测温仪通过关节轴承安装在观察孔内，且测温仪的测温探头指向炉桶内。上述装置通过带有缺口标记的石墨测量条及测温仪的设置，可得到炉内立体的温度分布数据，进而可根据测量结果进行炉内热场调整；操作简单，可以随时实验获取数据；不浪费原料，只消耗少量电费，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cz 单晶炉 静态 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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