[发明专利]一种旋转靶材退绑方法及夹具在审
| 申请号： | 202110420643.1 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113249691A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王英洁;文崇斌;胡智向;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及溅射镀膜技术领域，公开了一种旋转靶材退绑方法及夹具，其中，旋转靶材退绑方法包括以下步骤：用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹；用硅胶垫圈塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，使铟从靶材缝隙流出；待铟不再外流，再持续保温一段时间；将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。通过本方法退绑的靶材可最大限度提高良品率，退绑后的靶材经扫描后无裂纹等问题可重新利用并绑定，减少了废品产生。另外，本方法直接采用退绑夹具固定在靶材的中间将靶材取下，方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 靶材退绑 方法 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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