[发明专利]麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202110421622.1 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN112995885B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 傅思宇;谢志平;闾新明 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种麦克风及其制造方法，由于先基于第一牺牲层的第一开口使得第二牺牲层随形形成凹槽，再在凹槽中形成第二开口，之后可以在第二开口中填充刻蚀停止层，以形成侧向停止结构，由此在通过释放孔对第一牺牲层和第二牺牲层进行各向同性刻蚀牺牲层以形成麦克风的振膜和背板之间的空腔时，刻蚀可以停止在侧向停止结构的表面，实现了第一牺牲层和第二牺牲层的侧掏距离可控的效果，降低了对各向同性刻蚀工艺的限制，且在形成空腔后能形成更加稳固的支撑柱，提高了麦克风的机械可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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