[发明专利]一种锡酸镉靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110421876.3 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113213914B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;余芳;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/645 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;魏微 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种锡酸镉靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化镉、二氧化锡和锡酸镉粉末混合均匀，所述氧化镉、二氧化锡和锡酸镉的摩尔比为：2：1：1～2；(2)将混合好的物料装入模具中，放入真空热压炉中；(3)抽真空，升温至500～700℃，保温T1＝20～60min后加压，在10～40MPa下保持T2＝20～40min，保温总时长T3＝50～80min，T1＜T3；(4)降温、降压、脱模，即得所述锡酸镉靶材。本发明所述制备方法用氧化镉、二氧化锡原料直接真空热压烧结，降低了靶材烧结的温度，锡酸镉粉末的加入可以避免氧化镉和二氧化锡的反应过快，导致喷料、损坏模具等不良现象的发生，制得的靶材相对密度＞96％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锡酸镉靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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