[发明专利]光掩膜盒及其防尘方法有效
| 申请号： | 202110422068.9 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113387062B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘子汉;温志伟;林重宏 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/07 | 分类号： | B65D85/07;B65D51/16;B65D53/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李春秀 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本揭露实施例涉及光掩膜盒及其防尘方法。提供一种光掩膜盒。所述光掩膜盒包含容器及安装到所述容器的流体调节模块。所述流体调节模块包含第一盖、第二盖及密封膜。所述第一盖及所述第二盖彼此连接。在所述第一盖与所述第二盖之间形成流动路径以允许流体行进通过所述流体调节模块。所述密封膜定位于所述第一盖与所述第二盖之间且经配置用于调节行进通过所述流动路径的所述流体的流动。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩膜盒 及其 防尘 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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