[发明专利]非对称分束激光加工透明材料的装置及其方法有效

专利信息
申请号: 202110423923.8 申请日: 2021-04-20
公开(公告)号: CN112975113B 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 赵裕兴;郭良 申请(专利权)人: 苏州德龙激光股份有限公司
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/06;B23K26/064;G02B27/09
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 王玉国
地址: 215021 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及非对称分束激光加工透明材料的装置及其方法,依光束传播方向设置有:激光光源,可输出宽度小于300纳秒、波长在343~2000纳米范围脉冲激光;传输系统,对从激光光源输出的激光光束扩束、反射;整形系统,将光束截面能量为高斯分布的激光光束转换为贝塞尔分布,形成贝塞尔光束;分束系统,为具有至少两个楔形面结构的楔形棱镜,每个楔形面相对于光轴的夹角不同,将激光光束分割为至少两个部分,形成至少两束贝塞尔光束;聚焦系统,对至少两束贝塞尔光束缩小汇聚成像聚焦。利用非对称楔形镜片将贝塞尔光束分割成至少两束,并利用贝塞尔光束的自重建特性,经聚焦装置汇聚成至少两个焦点;不仅提升加工效率,还显著降低成本。
搜索关键词: 对称 激光 加工 透明 材料 装置 及其 方法
【主权项】:
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