[发明专利]一种PBN坩埚氧化硼润湿装置、方法及其应用在审
| 申请号： | 202110424399.6 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113213970A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 吕新杨;易明辉;刘建忠;吴晓波;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 肖小龙 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于半导体材料制备技术领域，具体公开了一种PBN坩埚氧化硼润湿装置、方法及其应用。所述氧化硼润湿装置装置包括：容纳PBN坩埚的石英安瓿；支撑旋转装置，支撑旋转装置包括垂直放置石英安瓿的支撑台和带动支撑台和石英安瓿沿石英安瓿的中轴线旋转的旋转电机一；容纳旋转装置，容纳旋转装置包括容纳氧化硼的坩埚一和带动坩埚一沿其中轴线旋转的旋转电机二，坩埚一的侧壁开有小孔，小孔处设有可开闭小孔的阻隔罩；加热装置。在砷化镓单晶生长过程，本发明所提供的方法创造性的利用离心力将铂金坩埚内熔化的液态氧化硼甩至PBN坩埚的锥状部位，从而达到氧化硼对坩埚锥状部位的覆盖及润湿的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pbn 坩埚 氧化 润湿 装置 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导微电子科技有限公司，未经广东先导微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110424399.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新能源场站一次调频测试系统及方法
- 下一篇：一片式活动手提缓冲纸卡结构
