[发明专利]一种用于检测膜面振动的双腔装置及其解调方法

摘要

本发明公开了一种用于检测膜面振动的双腔装置及其解调方法，涉及光传感信息解调技术领域；包括激光器、光纤分束器、光环形器、光纤、双腔装置及光电探测器；激光器发出的激光经过光纤分束器分成两束光，光束通过光环形器传输到双腔装置，在双腔装置内光束照射在膜面上并反射回光纤，并与光纤端面的反射光发生干涉，干涉光通过光环形器传输到光电探测器上并转化为电信号；双腔装置结构使双腔输出的干涉信号呈一定的相位差状态，双腔装置内含有一种位移驱动结构，其促使光纤端面垂直膜面移动；通过对干涉光束转化的电信号采用椭圆拟合算法进行相位解调，分析计算出膜面振动的幅值变化；提高传感系统的灵敏度及稳定性。