[发明专利]一种快速测量石墨碳化硅坩埚样块热导率的装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110425804.6 申请日: 2021-04-20
公开(公告)号: CN113109389A 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 周雨 申请(专利权)人: 嘉兴皓特特种陶瓷有限公司
主分类号: G01N25/20 分类号: G01N25/20
代理公司: 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 代理人: 马世海
地址: 314000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及工业石墨碳化硅坩埚应用领域,具体涉及一种快速测量石墨碳化硅坩埚样块热导率的装置及方法,包括恒温水箱、热电偶及数码显示装置和加热台,所述恒温水箱包括水管,且水管的外壁设置有管阀,所述加热台的顶部设置有夹紧机构,所述水管的一端设置有水冷头,所述夹紧机构的内壁固定连接有陶瓷基板,所述夹紧机构的内壁通过陶瓷基板夹持有石墨碳化硅坩埚样块,所述陶瓷基板的底部设置有导热硅脂,所述热电偶及数码显示装置的电偶联线一端连接在陶瓷基板的两面。该快速测量石墨碳化硅坩埚样块热导率的装置及方法,可以节约测量成本,省去送出样品的时间,检测过程简单快捷,克服了专业测量的困难,能够满足工程需要。
搜索关键词: 一种 快速 测量 石墨 碳化硅 坩埚 样块热导率 装置 方法
【主权项】:
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