[发明专利]片上铌酸锂薄膜偏振分集器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110427472.5 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113109902A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张磊;杨林;付鑫;杨尚霖;戴进成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/136;G02B6/125 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种片上铌酸锂薄膜偏振分集器及其制备方法，片上铌酸锂薄膜偏振分集器包括铌酸锂薄膜，并包括：加载型波导与铌酸锂波导；其中，所述加载型波导包括：用作偏振光的传输端口的第一端口与第二端口；第一加载型波导段，通过第一波导连接段与第一端口连接；曲线加载型波导段，与第一加载型波导段连接；以及第二加载型波导段，通过第二波导连接段与曲线加载型波导段连接。本发明通过在偏振光入射方向并列设置加载型波导和铌酸锂波导，实现TM模式偏振光与TE模式偏振光不发生耦合；通过对纳米线尺寸参数的设计实现将TM模式偏振光转换为TE模式偏振光，最终消除偏振光的双折射现象，实现片上铌酸锂薄膜偏振分集器的偏振分集功能。 | ||
| 搜索关键词： | 片上铌酸锂 薄膜 偏振 分集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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