[发明专利]结合磁场的压电驱动器位移测量系统和测量方法有效
| 申请号： | 202110430002.4 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113108682B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 黄虎;刘艳伟;徐智 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G05B11/42 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 李荣武 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结合磁场的压电驱动器位移测量系统和测量方法，属于精密机械领域。包括驱动模块、驱动器样机、测量模块和电压采集处理模块。驱动模块使驱动器样机输出位移，在磁场力作用下，测量模块的压电晶片随位移输出发生弹性形变，由于压电效应，压电晶片左右表面产生相反电荷，由电荷放大器放大并转换成电压输出，经电压采集处理模块将电压信号采集并进行处理分析，实现对驱动器位移的测量。优点在于：结合磁场将位移转换成电压输出，通过比对标定位移和电压实现对大行程位移的测量；对输出电压的监测可辅助构建反馈控制系统，对改善冲击惯性压电驱动器的步进不稳定性有积极作用。在精密光学、生物医学工程等领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 磁场 压电 驱动器 位移 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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