[发明专利]一种基片缺陷检测装置与方法有效
| 申请号： | 202110430767.8 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113218961B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵承伟;王长涛;马晓亮;罗云飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 张乾桢 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种基片缺陷检测装置与方法，基片缺陷检测装置包括支撑框架、照明与拍摄模块、承片模块和控制系统；支撑框架包含半球壳、底座和连接段，半球壳通过连接段设置在底座上；连接段上设置有送片窗口，半球壳上均匀设置有多个安装孔，各安装孔的轴线设置为穿过半球壳的球心；承片模块安装在底座上，用于稳定承载待检测基片；照明与拍摄模块能够实现对承片模块上待检测基片的照明与拍摄；控制系统用于照明与拍摄模块和承片模块的信号采集、数据处理以及联动控制。本发明基于散射成像基本原理，采用全方位多场照明与拍摄的方式，进行基片缺陷检测，实现全方位的多场照明与拍摄，弥补散射成像方法在基片缺陷精确检测方面的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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