[发明专利]一种多梁耦合的微机电谐振器在审
| 申请号： | 202110433259.5 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN112953433A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘文立;杨晋玲;袁泉;陈泽基;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H7/075 | 分类号： | H03H7/075 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种多梁耦合的微机电谐振器，包括：谐振结构，包括多个谐振梁，且各个谐振梁顺次首尾相连耦合形成多边形环，相邻所述谐振梁耦合处设置有位移节点；电极，设置于所述谐振结构外围及所述谐振结构的内侧，通过机电转换介质层与所述谐振结构相隔；多个支撑梁，每个所述支撑梁的一端连接至一个所述位移节点；其中，各所述支撑梁的另一端连接至固定的基座，使得所述谐振结构处于悬空状态，因此在谐振结构工作时，电极驱动所述谐振结构，使所述每个谐振梁在所述多边形环所在面内朝垂直于对应谐振梁长度的方向做弯曲振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
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