[发明专利]等离子体用烧结金属气体分布环在审
| 申请号： | 202110433982.3 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113205993A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 徐鸣;唐欢欢;安建昊 | 申请（专利权）人： | 江苏微凯机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体用烧结金属气体分布环，包括气体分布环本体，气体分布环本体内环的侧面烧结有金属圆环，金属圆环上均匀间隔的设有若干通气孔。本发明中的整个金属圆环均可以出气，出气均匀，气体分布均匀，气体电离效率高，进而可使得离子在电离室内分布均匀，同时，可增大氧气的出气量，增强了镀膜工艺的有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 体用 烧结 金属 气体 分布 | ||
【主权项】：
暂无信息
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