[发明专利]一种高介电性能钛酸铜钙外延薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110434283.0 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113121221B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 薛人中;朱祥;苏玉玲;刘德伟;张会均;陈思源;崔梦茹;陈红炫 | 申请（专利权）人： | 郑州轻工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/462 | 分类号： | C04B35/462;C04B35/622;C04B35/624 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 王红培 |
| 地址： | 450000 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种高介电性能钛酸铜钙外延薄膜的制备方法，首先利用溶胶凝胶法制备钙、铜、钛的溶液，再合成钛酸铜钙溶胶；其次，清洗SrTiO |
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| 搜索关键词： | 一种 高介电 性能 钛酸铜钙 外延 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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