[发明专利]一种四极杆用频率可调的射频电源电路在审
| 申请号： | 202110435062.5 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113315476A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 唐怀武;罗振中;洪峰;沈辉萍;付聪;杨少波;于志伟;陶波 | 申请（专利权）人： | 杭州春来科技有限公司 |
| 主分类号： | H03F1/02 | 分类号： | H03F1/02;H03F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于电子分析技术领域，具体涉及一种四极杆用频率可调的射频电源电路，包括控制模块、直接数字频率合成器和一对功率放大模块；控制模块用于控制直接数字频率合成器输出一对差分频率可变的正弦波信号；一对功率放大模块用于分别对一对差分频率可变的正弦波信号进行功率放大，以分别施加至四极杆的两对极杆上。传统的四极杆驱动采用AM调幅的方式，需要精确地控制正弦波的幅值，而且射频电源的高压不易实现；而本发明只需要改变四极杆扫描频率，射频的幅值达到500V即可，避免了高压设计，降低了电路设计难度，且降低了四极杆质谱对真空度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 四极杆用 频率 可调 射频 电源 电路 | ||
【主权项】：
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