[发明专利]半导体结构与其制作方法在审
| 申请号： | 202110436335.8 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113314500A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 陈建汉;邱建智;张世郁;林大为;陈逸棠 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/528;H01L21/768 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种半导体结构与其制作方法。半导体内连线结构包括导电线路电性耦接至主动半导体装置，第一蚀刻停止层形成于导电线路上；第一介电层，形成于第一蚀刻停止层上；第二蚀刻停止层形成于第一介电层上；第二介电层形成于第二蚀刻停止层上；以及内连线结构电性耦接至导电线路并延伸穿过第一蚀刻停止层、第一介电层、第二蚀刻停止层、与第二介电层。内连线结构包括通孔，延伸穿过第一蚀刻停止层、第二蚀刻停止层、与第一介电层；以及沟槽，延伸穿过第二介电层。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 与其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110436335.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
