[发明专利]一种MEMS麦克风的封装板、麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202110437612.7 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113207073A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈为波;曹诚;李涛 | 申请（专利权）人： | 东莞市瑞勤电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 523129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风的封装板、麦克风及其制造方法。根据本发明实施例的MEMS麦克风的封装板包括第一电路板；以及第二电路板，与所述第一电路板相对设置，并与所述第一电路板形成第一背腔，其中，所述第二电路板上设置有通孔，所述通孔与所述第一背腔相连通。根据本发明实施例的MEMS麦克风的封装板、麦克风及其制造方法，可以增大麦克风背腔的体积，提高麦克风的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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