[发明专利]一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110437999.6 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113218539A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 董瑛;潘律名;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳国际研究生院 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法，该微结构包括柔性材料的基底和微柱体阵列，所述微柱体阵列以与竖直方向成倾斜角度的方式一体地形成在所述基底上，所述微结构的中心轴在三维空间内与沿竖直方向的竖直轴不重合，或者说所述微结构的中心轴在三维空间内仅存在一个竖直对称面，可以看成在三维空间内仅存在多个竖直对称面的微结构相对于竖直方向偏移一定角度形成。与传统微结构相比，本发明的微结构使具有该微结构的柔性压力传感器具有更高的灵敏度和压力范围。本发明制备具有该微结构的柔性压力传感器的方法，相比于传统柔性压力传感器制备方法，制备工艺简单，易于进行批量生产，制备的柔性压力传感器灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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