[发明专利]一种稳定自清洁复眼透镜的制造方法有效
| 申请号： | 202110438418.0 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113156551B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李江;黄玉祥;朱瑞祥;闫小丽;付作立 | 申请（专利权）人： | 西北农林科技大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 712100 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种稳定自清洁复眼透镜的制备，先将光刻胶旋涂在玻璃片上获得样片一；将掩膜板与样片一压紧，紫外光刻后不完全显影，清洗吹干得样片二；然后经过两次翻模后得到样片三；将NOA紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧后，紫外曝光得到样片四；再在样片四表面溅射氧化锌种子层，等离子体气相沉积氟化物，利用阵列式高精度喷印系统在微锥间隙滴落微液滴，烘干得到微透镜和微锥阵列复合结构的样片五；然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中得到混合溶液，将样片五放入混合溶液中，水浴得到样片六；最后清洗样片六，烘干后得稳定自清洁复眼透镜；本发明纳米结构定位制备在锥形阵列侧面，对样片整体光透性影响较小，可以提高结构表面疏水稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 清洁 复眼 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
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