[发明专利]层间耦合器有效
| 申请号： | 202110439616.9 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN112987183B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李绍洋;王玥;王亮亮;吴远大;安俊明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提出一种层间耦合器，包括：第一波导层、中包层和第二波导层。其中，第一波导层由第一波导、第一渐变型波导和第二渐变型波导依次连接构成；第一渐变型波导的宽度逐渐变窄，第二渐变型波导的宽度逐渐变宽；第二波导层由第二波导、第三渐变型波导和第四渐变型波导依次连接构成；第三渐变型波导的宽度逐渐变窄，第四渐变型波导的宽度逐渐变宽；第一渐变型波导与第四渐变型波导、第二渐变型波导与第三渐变型波导分别呈中心对称分布，第一渐变型波导和第二渐变型波导与第三渐变型波导和第四渐变型波导的空间交叠部分形成层间耦合区。该层间耦合器可以在保证较高的耦合效率的情况下缩短耦合长度，并且对工艺的偏差具有一定的容忍度。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合器 | ||
【主权项】：
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