[发明专利]氮化镓功率器件反偏压可靠性测试方法有效
| 申请号： | 202110440650.8 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113203929B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 陈敬;成妍 | 申请（专利权）人： | 香港科技大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区高新科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及氮化镓功率器件反偏压可靠性测试方法及碰撞电离方法。测试方法，包括：(1)器件关态特性测试；(2)获取电流特性；(3)悬空源端下关态特性测试；(4)利用Sentaurus仿真获取沟道电场分布；(5)获取碰撞电离发生原因；(6)一路接续步骤(2)；(7)对碰撞电离发生前电压偏压测试；(8)获取器件常温下对应寿命，绘制威布尔分布图；(9)进行常温下寿命预估；(10)另一路利用变温台升温至150℃；(11)进行关态特性测试；(12)获取关态电流特性；(13)选取碰撞电离发生前电压偏压测试；(14)绘制高温下威布尔分布图；(15)寿命预估；(16)得到常温和高温下器件的真实寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 功率 器件 偏压 可靠性 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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