[发明专利]有机过渡金属化合物及制备方法、形成含过渡金属薄膜的方法

摘要

本发明公开有机过渡金属化合物及制备方法、形成含过渡金属薄膜的方法。所述有机过渡金属化合物的结构式选自如下所示中的一种：。低价过渡金属与蒎烯进行碳‑碳键氧化加成而得到螯合的有机过渡金属化合物。将有机过渡金属金属配合物用作金属前体，通过研究它的原子沉积过程，证明它很好的遵循了理想的原子层沉积生长，以沉积出纯度高，表面平整的含过渡金属薄膜。并进一步证明在此原子层沉积工艺中，可以将含过渡金属薄膜保形地沉积在深宽的沟槽中，这表明这些方法非常适合于复杂的或多孔三维纳米立体结构基底上，均匀和保形性好地沉积得到含过渡金属薄膜。