[发明专利]一种利用硒化亚锡纳米晶进行表面修饰的硒化铟光电探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110442127.9 申请日: 2021-04-23
公开(公告)号: CN113328004B 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 李煜;晏雨发;郑博方;曾海飞 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/032;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 徐凯凯
地址: 518061 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种利用硒化亚锡纳米晶进行表面修饰的硒化铟光电探测器及其制备方法,其中,硒化铟光电探测器包括基底、设置在所述基底上的n型硒化铟膜层、设置在所述n型硒化铟膜层上的p型硒化亚锡纳米晶,以及设置在所述基底上且与所述n型硒化铟膜层两端分别连接的第一电极和第二电极。本发明通过在不改变硒化铟膜层的微观结构前提下,在其表面修饰p型硒化亚锡纳米晶构成局域的异质结,在光照下,异质结可使所述n型硒化铟膜层与p型硒化亚锡纳米晶的界面处产生大量的电子与空穴,而光生电子空穴会在硒化亚锡纳米晶与硒化铟膜层构成的异质结处迅速分离,从而能够有效提高所制备的光电探测器的光暗电流比、光响应度及比探测率。
搜索关键词: 一种 利用 硒化亚锡 纳米 进行 表面 修饰 硒化铟 光电 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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