[发明专利]阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202110442256.8 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113138309A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 周航;李光健;陈虹 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;H02M1/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种阻抗测量元件、阻抗匹配器、射频电源及半导体工艺设备，该阻抗测量元件应用于射频传输线路，包括数据采集单元、数据处理单元及阻抗计算单元，其中，数据采集单元用于采集射频传输线路的电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据；数据处理单元分别与数据采集单元和阻抗计算单元连接，用于对电压数据、电流数据、前向功率数据及反射功率数据进行数据处理，以得到电压波与电流波的幅值信号、相位信号及功率反射系数信号；阻抗计算单元用于根据幅值信号、相位信号及功率反射系数信号确定射频传输线路的阻抗。应用本申请，其测量精度较高，响应时间较短，且成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗 测量 元件 配器 射频 电源 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110442256.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
