[发明专利]基于BFGS拟牛顿-内点算法的光刻机匹配方法有效
| 申请号： | 202110443832.0 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113189851B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陈俞光;李思坤;唐明;胡少博;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36;G03F1/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于BFGS拟牛顿‑内点算法的光刻机匹配方法。本方法以空间像关键尺寸作为描述光刻机成像性能的参数，通过BFGS拟牛顿‑内点算法优化参数化描述的光刻机照明光源以及投影物镜数值孔径，实现光刻机高效率匹配。本发明利用障碍函数为优化问题添加约束，有效地利用了迭代信息，改进了非自由照明系统光刻机的匹配方法，提高了现有方法的匹配精度和效率。适用于具有非自由照明系统的浸没式光刻机之间的匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 bfgs 牛顿 算法 光刻 匹配 方法 | ||
【主权项】：
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