[发明专利]一种纳米复合VN-Au涂层及其制备方法和应用在审
申请号: | 202110444184.0 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113322437A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 梅海娟;陈雪珍;吴子卉;龚伟平;赵振廷;郭朝晖;赵军峰;赵璨璨 | 申请(专利权)人: | 惠州学院 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;B82Y40/00;C23C14/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 邓聪权 |
地址: | 516007 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于刀具涂层和表面润滑涂层制备技术领域,公开了一种纳米复合VN‑Au涂层及其制备方法和应用。该纳米复合VN‑Au涂层中各元素的原子百分比含量分别为:V 30~45at.%,Au 0~20at.%,N 50~55at.%。本发明采用双靶磁控溅射制备的纳米复合VN‑Au涂层,具有表面光滑、结构致密、及良好的自润滑性能,可有效降低摩擦系数,提高自润滑涂层的耐磨性。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 复合 vn au 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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