[发明专利]一种多探头射线方程标定装置及标定方法有效
申请号: | 202110445273.7 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113175895B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 李成军;陈龙;翁继东;陶天炯;马鹤立;王翔;吴建;贾兴;刘盛刚;唐隆煌;陈书杨;康强 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人: | 冯玲玲 |
地址: | 621999*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种多探头射线方程标定装置及标定方法,该标定装置包括频域干涉测距仪、三坐标测量机、标定件、探头支架、探头和三坐标台面;该标定方法借助频域干涉测距技术(OFDI)测量待测探头到标定件之间的距离,利用三坐标测量机(CMM)获取标定件表面多点的坐标值,拟合出不同位置状态时标定件表面的数学解析式,最后结合探头射线方程,多个标定件的表面数学解析式以及探测光起点到标定件表面交点之间的距离方程,利用最小二乘法,拟合求解每个探头的射线方程参数。本发明公开的多探头射线方程标定装置标定精度较高,本发明公开的多探头射线方程标定方法标定效率高、标定精度较高,且能够保证各个探头射线方程标定结果的一致性。 | ||
搜索关键词: | 一种 探头 射线 方程 标定 装置 方法 | ||
【主权项】:
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