[发明专利]一种导电性碲化锌靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110445521.8 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113121232A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;余芳;朱刘;童培云;胡智向;曾成亮 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/622;C01B19/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种导电性碲化锌靶材的制备方法。本发明导电性碲化锌靶材的制备方法包括以下步骤：将碲化锌粉末和碲化亚铜粉末混合均匀后进行热压烧结，得到导电性碲化锌靶材；其中热压烧结过程中，在500～900℃下加压至45～70MPa，再保温保压。本发明通过在碲化锌中掺杂碲化亚铜，使所得碲化锌靶材具有非常好的导电性；采用碲化锌粉末和碲化亚铜粉末作为原料，并在较低温度下进行热压烧结，避免烧结过程出现偏析，确保所得碲化锌靶材具有良好的均匀性；同时在烧结过程中施压，使所得碲化锌靶材具有较高的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电性 碲化锌靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110445521.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
