[发明专利]一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法

摘要

本发明提供了一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法，属于晶圆清洗干燥领域。该系统包括有机溶剂输送单元、干燥气体输送单元、混合装置、加热装置和干燥装置，有机溶剂输送单元和干燥气体输送单元均与混合装置相连，混合装置、加热装置和干燥装置依次相连。混合装置，用于对有机溶剂输送单元输送的有机溶剂和干燥气体输送单元输送的干燥气体进行混合；加热装置，用于对混合装置混合后的混合流体进行加热气化；干燥装置，用于使用加热装置加热气化后的混合气体对晶圆进行干燥。本发明能够提升干燥工艺时混合蒸汽中有机溶剂蒸汽的含量，且产生混合蒸汽的时间短、效率高，能够满足快速干燥且干燥过程可控的需要。