[发明专利]一种PVT法单晶批量制备装置及方法在审
| 申请号： | 202110448564.1 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113122916A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 李晓敏 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PVT法单晶批量制备装置及方法，属于晶体生长领域。解决单晶制备效率低，制备成本较高的问题。包括加热器、石墨盖、石墨托、籽晶支撑结构、籽晶、坩埚中段、石墨筒、感应线圈、石墨盘、支撑环、坩埚体和籽晶托，坩埚体与坩埚中段连接，在坩埚体连接石墨盘，石墨盘上加工圆形通孔，圆形通孔对应位置安装石墨筒，坩埚中段连接石墨盖，坩埚中段与石墨盖连接处安装支撑环，支撑环上设置石墨托，石墨托与石墨盘圆形通孔对应位置加工圆孔，石墨托连接籽晶支撑结构，籽晶支撑结构与籽晶托连接，籽晶托连接籽晶，感应线圈安装坩埚中段和坩埚体的外侧，加热器位于装置上下两侧。实现多颗籽晶同时生长，材料制备速率提升，大幅降低制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvt 法单晶 批量 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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