[发明专利]一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置在审
| 申请号： | 202110450411.0 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113122912A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 杨昊;余庆华;牛立东;黄怀玉 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/00;C30B15/32 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 张燕平 |
| 地址： | 014030 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，涉及单晶炉配套装置技术领域。本发明包括放肩行程管，放肩行程管的顶端从一端到另一端依次固定连接有氩气注入管、放肩拉动输出结构和真空抽排导管，氩气注入管用于连接氩气注入泵，从而向放肩行程管内部注入氩气，真空抽排导管用于连接真空泵和机器泵。本发明通过放肩拉动输出结构的设计，使得装置便于完成对晶体放肩过程中进行全程自动化双重控量变速，从而达到稳定的放肩带动，进一步提高稳定性和放肩成活率，且通过晶体防脱定位结构的设计，使得装置便于完成对晶体的自动化夹紧，避免了晶体在放肩过程中产生脱落，提高成型稳定性，降低脱落带来的报废可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 硅单晶变炉压 改善 成活率 装置 | ||
【主权项】：
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