[发明专利]一种大尺寸硅单晶提渣装置在审

专利信息
申请号: 202110450425.2 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN113215656A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 杨昊;孙伟;李向宇;牛豪超 申请(专利权)人: 弘元新材料(包头)有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/20
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 张燕平
地址: 014030 内蒙古自治区包头*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种大尺寸硅单晶提渣装置,涉及单晶加工提渣技术领域。本发明包括析出坩埚,析出坩埚的四端均焊接有辅助引导滑轨,辅助引导滑轨的外侧滑动连接有配动水冷屏,配动水冷屏的两端固定连接有速冷型水冷屏结构,配动水冷屏的两侧均固定连接有自动化调位支撑结构。本发明通过自动化调位支撑结构的设计,使得装置便于带动水冷屏进行自动化的高度调节,并便于控制调节高度的具体数值,从而在加最后一桶料后,逐步调整水冷屏位置,析出更多的非硅、难溶物,提高引放成活率,且通过速冷型水冷屏结构的设计,使得装置便于对水冷屏形成高效稳定的制冷温度导出,大大提高了低温渣子析出晶体的效率。
搜索关键词: 一种 尺寸 硅单晶提渣 装置
【主权项】:
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