[发明专利]薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板有效
| 申请号： | 202110450638.5 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113206144B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 鲜济遥;周佑联;许哲豪;郑浩旋 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/336;H01L29/786;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板，所述薄膜晶体管的制备方法包括：在基板上方依次形成第一金属层、第一绝缘层、有源层、欧姆接触层以及第二金属层；对所述第二金属层进行蚀刻以在所述第二金属层形成第一沟道；在所述第二金属层上方形成钝化层；以所述钝化层为掩体，对位于所述第一沟道下方的所述欧姆接触层进行蚀刻，以在所述第一沟道下方形成第二沟道；在所述第二金属层上方形成第二绝缘层。能够避免制备得到的薄膜晶体管存在半导体台阶，从而避免半导体台阶引起的漏电问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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