[发明专利]一种多元硬质膜及其制备工艺在审
| 申请号： | 202110452231.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113106391A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 潘振强;朱惠钦;潘又铭;施华锋 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/50 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于硬质膜产品技术领域，具体多元硬质膜及其制备工艺，该多元硬质膜的制备工艺的具体步骤是：选用不锈钢基片；对不锈钢基片表面进行轰击处理；溅射沉积第一膜层Cr层；溅射生成第二膜层CrN层；生成第三膜层CrSiN层；生成第四膜层CrSiCN层。该多元硬质膜的制备工艺有效的结合了磁控溅射和等离子体辅助化学气相沉积工艺，从而极大的改善和提高硬质膜结合力和硬膜性能。此外，制备的硬质膜为Cr/CrN/CrSiN/CrSiCN的多元结构，Si硅元素的掺杂采用的是具有一定饱和蒸气压的有机硅的前驱体，在等离子体辉光放电作用下发生裂解反应，实现Si硅元素在硬质膜中的等离子体辅助化学气相沉积工艺的制备和多元硬质膜中的掺杂，有效的提高多元硬质膜结构的结合力和硬质膜的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多元 质膜 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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