[发明专利]一种光学表面污染物的去除装置及方法在审
| 申请号： | 202110452259.X | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113172047A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王玉鲁;范朦;蒋毅;杨龙;范松如;罗荣荣 | 申请（专利权）人： | 四川欧瑞特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;B01D53/78;B01D53/68 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 刘艳均 |
| 地址： | 620500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学表面污染物的去除装置及方法，属于离子束加工技术领域，解决了现有技术中光学表面的离子束加工会产生数量、种类较多的污染物的问题，本发明包括加工舱，所述加工舱分别连接有第二电磁阀、第三电磁阀，所述第二电磁阀连接有气体储存罐，所述气体储存罐连接有第一电磁阀，气体储存罐上设置有气压计，所述第一电磁阀连接有固体储存瓶，所述固体储存瓶连接有加热装置，所述第三电磁阀连接有回收池，加工舱内设置有充气管，所述充气管与第二电磁阀连通。本发明去除光学元件表面污染物效率高、耗能低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 表面 污染物 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
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