[发明专利]一种薄膜杨氏模量的确定方法、装置及系统有效
| 申请号： | 202110454246.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113311074B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 李辉;孟胜伟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N29/07 | 分类号： | G01N29/07;G01N9/24 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 刘恋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种薄膜杨氏模量的确定方法、装置及系统，其中，所述方法包括：获取声速值与声波脉冲参数之间的参考线性关系和待测薄膜的声波传播信号谱；在所述声波传播信号谱中，确定出目标峰值位置；根据所述参考线性关系和所述目标峰值位置下的目标声波脉冲参数，确定声波在所述待测薄膜中传播的实际声速值；通过所述实际声速值和所述待测薄膜中材料的密度，确定所述待测薄膜的杨氏模量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 杨氏模量 确定 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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