[发明专利]一种长晶炉气体供送装置有效
| 申请号： | 202110455087.1 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113174637B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘丙洋;史建伟;赵光利;马振华;张开端;阴法波 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;C30B28/12 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯委 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种长晶炉气体供送装置，包括多个对长晶炉的晶体生长腔提供气体的气体供送单元，每个气体供送单元均包括气体源、第一气体通道和第二气体通道，第一气体通道上设有第一流量控制单元，第二气体通道上设有第二流量控制单元；每个气体源经与其对应的第一气体通道和第一流量控制单元与晶体生长腔气路连通，每个气体源经与其对应的第二气体通道和第二流量控制单元与晶体生长腔气路连通；当第一流量控制单元和第二流量控制单元中的一个处于异常工作状态时，气体源经两者中的另一个所在的气路对晶体生长腔提供所需气体。本申请所公开的长晶炉气体供送装置可按工艺需求可靠地对晶体生长腔提供所需的气体，且具有供气稳定、可自动排障等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长晶炉 气体 装置 | ||
【主权项】：
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