[发明专利]一种基于硬质合金表面镀ta-C膜的离子清洗工艺有效
| 申请号： | 202110455477.9 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113151797B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 冯利民;李建中;张涛;吴静怡;于凯 | 申请（专利权）人： | 东北大学;上海新弧源涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周莹;李馨 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种真空镀膜前离子清洗工艺，包括以下步骤：1、超声波清洗等离子基体表面杂质，装炉；2、在真空涂层设备内进行弧光增强氩离子轰击以清除基体表面杂质，采用电弧离子镀作为离化源，提供的电子流密度可达10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 硬质合金 表面 ta 离子 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
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